拓荆科技获得实用新型专利授权:“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”

导读 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜...

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”,专利申请号为CN202322861841.9,授权日为2024年8月23日。专利摘要:本实用新型公开了一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置。显示系统包括:支撑结构,设置于盖板的上方,包括若干个图像采集装置,其中,所述图像采集装置经由所述盖板上的观察窗,获取所述观察窗下方的晶圆托盘与边缘环之间的边缘图像,所述边缘图像指示所述晶圆托盘到所述边缘环的相对位置;以及显示装置,连接所述若干个图像采集装置,用以放大显示所述边缘图像。
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