芯源微获得实用新型专利授权:“一种升降回转一体式轴机构”

导读 证券之星消息,根据企查查数据显示芯源微(688037)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种升降回转一体式轴机构”,专利申请号为CN20...

证券之星消息,根据企查查数据显示芯源微(688037)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种升降回转一体式轴机构”,专利申请号为CN202322970339.1,授权日为2024年7月9日。专利摘要:本实用新型属于半导体晶圆加工设备技术领域,具体地说是一种升降回转一体式轴机构,包括底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸,底板上安装有若干个固定立板,各固定立板的顶端分别与中空直驱电机连接并支撑中空直驱电机,竖直驱动气缸安装于其中一个固定立板上。本实用新型通过采用中空直驱电机连接并带动滚珠花键螺母转动,从而可精确带动顶部安装有负载的空心花键轴旋转指定角度,能够有效
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