芯源微获得实用新型专利授权：“一种升降回转一体式轴机构”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种升降回转一体式轴机构”，专利申请号为CN202322970339.1，授权日为2024年7月9日。专利摘要：本实用新型属于半导体晶圆加工设备技术领域，具体地说是一种升降回转一体式轴机构，包括底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸，底板上安装有若干个固定立板，各固定立板的顶端分别与中空直驱电机连接并支撑中空直驱电机，竖直驱动气缸安装于其中一个固定立板上。本实用新型通过采用中空直驱电机连接并带动滚珠花键螺母转动，从而可精确带动顶部安装有负载的空心花键轴旋转指定角度，能够有效