长川科技获得实用新型专利授权:“对准装置”

导读 证券之星消息,根据企查查数据显示长川科技(300604)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“对准装置”,专利申请号为CN202322859702.2,...

证券之星消息,根据企查查数据显示长川科技(300604)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“对准装置”,专利申请号为CN202322859702.2,授权日为2024年7月2日。专利摘要:本实用新型涉及一种对准装置,其包括基座、软质吸附件及柔性膜,其中,基座设有多个第一气路;软质吸附件设置于基座,软质吸附件设有多个间隔布置的吸附孔,各个吸附孔与各个第一气路一一对应连通;柔性膜设置于软质吸附件背离基座的一侧面,并设有与各个吸附孔一一对应连通的多个通孔。上述对准装置中,基座的第一气路、吸附孔及通孔相贯通形成了负压气路,可通过向负压气路通入负压气体以吸附晶圆,使得晶圆能够稳定可靠地吸附固定于软质吸
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