南大光电获得实用新型专利授权

导读 证券之星消息,根据企查查数据显示南大光电(300346)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“固态源气化装置”,专利申请号为CN2023233664...

证券之星消息,根据企查查数据显示南大光电(300346)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“固态源气化装置”,专利申请号为CN202323366497.2,授权日为2024年6月21日。专利摘要:本实用新型公开了一种固态源气化装置,包括瓶体及封装于瓶体上的盖板,所述盖板上形成有出气口,所述瓶体内包括多个上下分布且相互独立的容置腔体,每个容置腔体内设有一个或多个堆叠设置的托盘,每个容置腔体分别与所述出气口相连通。本实用新型的固态源气化装置,能够均匀消耗其内的顶部固态源和底部固态源,提高蒸气压的稳定性,延长固态源使用周期,改善薄膜沉积质量。
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